O nitrogênio-de alta pureza é usado como gás de proteção e de arraste na fabricação de circuitos integrados, semicondutores e dispositivos eletrônicos a vácuo; serve como gás de arraste na deposição química de vapor; transporta o gás em fontes de difusão líquida; e atua como gás protetor para dispositivos em fornos de difusão de alta-temperatura.
O nitrogênio-de alta pureza é usado como gás para deslocamento, secagem, armazenamento e transporte em processos como epitaxia, fotolitografia, limpeza e evaporação. A pureza do nitrogênio de 99,99% ou superior é necessária na fabricação de tubos de raios catódicos. Na tecnologia aeroespacial, os sistemas de reabastecimento de hidrogênio líquido devem primeiro ser purgados com nitrogênio de alta-pureza, seguido por hélio de alta-pureza.
Em dezembro de 2025, a Administração Estatal de Regulamentação do Mercado aprovou e divulgou o material padrão nacional para nitrogênio de alta-pureza, que é usado em processos importantes, como limpeza, gravação e deposição na fabricação de dispositivos semicondutores, bem como em processos como fotolitografia, implantação de íons e oxidação na produção de circuitos integrados.